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江苏亚电获得晶圆翻转设备专利能避免碎屑对晶圆发生影响维护安全

时间: 2024-12-28 01:18:19 | 作者: 华体会网页登录入口

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金融界2024年11月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，江苏亚电科技股份有限公司获得一项名为“一种晶圆翻转设备”的专利，授权公告号CN 222029068 U，请求日期为2024年3月。

专利摘要显现，本请求触及一种晶圆翻转设备，经过机械手将晶圆放置到夹持移动座处，夹持驱动器驱动两边的夹持移动座接近然后夹持住晶圆，旋转驱动器驱动旋转架连同夹持着晶圆的夹持移动座旋转度，外结构底部具有接头，接头与抽气设备衔接，抽气设备作业时，能够将运动部件运动时的碎屑抽走，避免碎屑对晶圆发生必定的影响，维护晶圆安全。

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